leybold萊寶活塞式壓力真空計結構特點

真空計分類
真空計可分為真空計和相對真空計兩大類。凡能從其本身測得的物理量（如液柱高度、工作液、比重等）直接計算出氣體壓力的稱真空計，這種真空計測量精度較高，主要用作基準量具。相對真空計主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性（如熱傳導、電離、粘滯性和應變等）與壓力的關系間接測量，其測量精度較低，而且測量結果還與被測氣體種類和成分有關。因此相對真空計必須用真空計標定和校準后方能用作真空測量。但它能直接讀出被測壓力，使用方便，在實際應用中占絕大多數。真空技術需要測量的壓力范圍為105～10-11帕，甚至更小,寬達16個數量級以上,尚無一種真空計能適用于從粗真空（105～102帕）、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到*真空（小于10-10帕）的全范圍測量,因而有多種真空計。zui常用的有U形管真空計、壓縮式真空計、電阻真空計和冷熱陰極電離真空計。U形管真空計用以測量粗真空和低真空的真空計（圖1）。在U字形的玻璃管中充以工作液（低蒸氣壓的油、汞）。管的一端被抽成真空（或直接通大氣），另一端接被測真空系統。根據兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統的壓力。壓縮式真空計又稱麥克勞真空計，是一種測量低真空和高真空的真空計。這種真空計一般用硬質玻璃制成（圖2a）。A是一根與被測真空系統相連接的開管，D、B為內徑相同的毛細管，V為球泡,其體積遠大于毛細管。測量時，通過活塞2抽真空，然后用活塞1充氣,使汞儲存器C中的汞上升到覆沒交叉口ΜΜ′，則D、V和B、A內的氣體被隔成兩個區域。再充氣繼續提高汞液面,D、V內的氣體則進一步被壓縮，壓力增高。這樣D、B間存在的壓差可由汞柱高度差來表示（圖2b）。玻璃容器的體積和毛細管的高度是可測出的，所以用玻意耳定律即可算出被測壓力。測量精度較高,在10-3帕時的精度小于或等于5％。電阻真空計又稱皮喇尼真空計，是一種測量低真空的相對真空計，主要由電阻式規管和測量線路兩部分組成。電阻式規管（圖3）是在管殼內封裝著一條電阻溫度系數較大的電阻絲，常用的為鎢或鉑絲。測量時，規管與被測真空系統相接，用一定的電壓、電流加熱電阻絲，其表面溫度可用電阻值來反映，且與周圍的氣體分子的熱傳導有關，而氣體分子的熱傳導又與壓力有關。當被測壓力降低時，由氣體分子傳走的熱量減小，電阻絲表面溫度就增高，電阻值增大；反之，電阻值減小。因此根據電阻值的大小就可測量出壓力。熱陰極電離真空計通稱電離真空計，主要用于高真空測量。它是由圓筒式熱陰極電離規管（圖4）和測量線路兩部分組成。這種規管與三極電子管相似，有3個電極：陰極（燈絲）、螺旋形柵極（加速極）和圓筒形收集極。測量時，規管與被測真空系統相連。通電后，熱陰極發射電子，在飛向帶正電位的加速極的路程中與管內空間的低壓氣體分子碰撞,使氣體分子電離。電離所產生的電子和離子,分別在加速極和收集極（帶負電位）上形成電子流Ie和離子流Ii。在被測氣體壓力低于10-1帕的狀況下,當電子流Ie恒定時，離子流Ii與被測真空系統中的氣體分子密度（亦即壓力p）成正比。因此,離子流的大小就可作為壓力的度量。這種真空計的測量范圍為10-1～10-5帕。此外,還有測量上限能達102帕以上的高壓力電離真空計。這種電離真空計在工作時，陰極發射的電子撞擊加速極時產生軟性X射線，照射到收集極上時便引起收集極的光電子發射，因而就在離子流測量回路中增加一個與被測壓力無關的剩余光電流IX,限制測量下限的擴展。為了減少這種軟X射線對收集極的影響，人們又研制出BA式電離規管（圖5）。它是將收集極改為針形，并與陰極的位置對換，這樣使光電流IX大為減少，使壓力測量下限從10-5帕擴展到10-8帕左右，從而解決了超高真空測量的問題。冷陰極電離真空計一種測量高真空的相對真空計。它由電離規管和測量線路兩部分組成（圖6）。規管一般由兩塊平行的陰極、一個環形的陽極和產生磁場的磁鋼構成。在電極之間加有高壓直流電場，而整個規管的電極系統又置于垂直電極平面的磁場中。在正交電場和磁場的作用下，由低壓氣體分子電離產生的放電電流是被測壓力的函數，所以放電電流的大小可作為壓力的度量。

leybold萊寶活塞式壓力真空計結構特點（1)泵總體結構型式真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2)泵的傳動方式
真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的zui大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

特點
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；
(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；
(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；
(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

活塞式壓力真空計  型號：HAD-S2.5
一、用途
HAD-S2.5型活塞壓力計（以下簡稱壓力計）主要用作檢驗-0.1-0.25MPa范圍內的0.16級，0.25級和0.4 級精密壓力表。
壓力度為0.05級、0.02級，工作介質為氣體
二、工作原理與基本結構
活塞系統和加在活塞上的砝碼的重量作用在活塞有效面積上所產生的壓力作為標準壓力，通過管路的共作介質，將壓力傳遞到精密壓力表。
在壓力計底座上有活塞系統，微調器和五個閥。
測量壓力時，活塞系統應在圖示位置，閥1的接嘴上接壓縮空氣源（zui大壓力≥0.25MPa但超過0.4MPa時）應接減壓裝置；或手遙控器加壓泵，氣體進入微調器，然后通過閥3與被測精密壓力表連通，通過閥4作用在活塞下端面上，通過閥5對油杯，上表面施加壓力，以潤滑和密封活塞處。

測量真空時，活塞系統應從前面繞水平軸轉動180°并鎖緊，氣源接嘴上接真空泵或手搖真空泵，通過上述管路與被檢精密真空表接通并作用在活塞上端面，此時應關閉閥5，并打開油蓋杯上蓋與大氣相通，一便得到零位。
儀器活塞系統中承重桿和滾花螺母重為0.051kg,取時先逆時針旋轉花螺母，再用中指和食指反方向握緊滾花螺母，垂直順時針用力向上滑動產生一個沖擊力，從而帶動承重桿一起拔下。
熱偶真空計，電阻真空計，壓敏真空計，電離真空計，熱偶與電離復合真空計，電阻與電離復合真空計，壓敏與電離復合真空計，

按真空度刻度方法分類
（1）真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關，屬于真空計的有U型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。
（2）相對真空計：由一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進刻度，必須進行校準才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規管（或規頭）和用于控制、指示的測量器組成。讀數與氣體種類有關。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等。
按真空計測量原理分類

直接測量真空計這種真空計直接測量單位面積上的力，有:
（1）靜態液位真空計：利用U型管兩端液面差來測量壓力。
（2）彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。
間接測量真空計壓力為10-1Pa時，作用在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有：
（1）壓縮式真空計：其原理是在U型管的基礎上再應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經過等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計測量，然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。
（2）熱傳導真空計：利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。
（3）熱輻射真空計：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關原理。
（4）電離真空計：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產生的離子流隨電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。

（5）放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度，一般僅能作為定性測量。
（6）粘滯真空計：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉子真空計。
（7）場致顯微儀：以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。
（8）分壓力真空計：利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質譜計、回旋質譜計和射頻質譜.